日本CKD半導(dǎo)體直驅(qū)馬達(dá)高精密型(ABSODEX)
日本CKD半導(dǎo)體直驅(qū)馬達(dá)高精密型(ABSODEX)
ABSODEX 作為 CKD 專為半導(dǎo)體制造研發(fā)的直驅(qū)馬達(dá)家族，涵蓋五大核心系列，覆蓋從納米級定位到高負(fù)載驅(qū)動的全場景需求：
AX1000T 高精度型：分度精度 ±15 秒，軸跳動≤0.01mm，支持晶圓檢測、芯片鍵合等精密場景。
AX2000T 高速型：最高轉(zhuǎn)速 300rpm，響應(yīng)時間 < 5ms，適用于電子元件高速搬運(yùn)與晶圓傳輸。
AX4000T 大扭矩型：最大扭矩 1000N?m，可驅(qū)動大慣性負(fù)載，提供電磁制動選項(xiàng)，適配封裝設(shè)備與機(jī)械臂。
AX6000M 迷你型：行業(yè)最小尺寸 φ80mm，重量 1.2kg，集成于空間受限的檢測探頭或微型機(jī)械臂。
AX7000X 超高精度型：分度精度 ±2 秒，分辨率 419 萬脈沖 / 轉(zhuǎn)，專為 EUV 光刻等納米級對位置換設(shè)計(jì)。
所有型號均標(biāo)配無電池絕對編碼器，支持?jǐn)嚯姾笪恢糜洃洠瑹o需原點(diǎn)復(fù)位，滿足半導(dǎo)體產(chǎn)線 24 小時連續(xù)運(yùn)行需求。
超潔凈環(huán)境設(shè)計(jì)
全密封鋁合金殼體，內(nèi)部填充低發(fā)塵潤滑脂，運(yùn)行時發(fā)塵量 < 10 particles/ft3（0.5μm 以上顆粒），符合 ISO Class 5 潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。
可選 ESD 防靜電涂層（表面電阻 10?~10?Ω）與真空兼容版本（內(nèi)部氣壓 < 10??Pa），適配工藝腔室環(huán)境。
防護(hù)等級達(dá) IP65，部分型號通過 ATEX 防爆認(rèn)證（Ex d II B T4 Gb），適用于高風(fēng)險工藝。
動態(tài)響應(yīng)與精度突破
AX7000X 系列等速旋轉(zhuǎn)波動≤0.06°，配合激光干涉儀閉環(huán)控制，可實(shí)現(xiàn) ±0.05μm 定位精度。
AX2000T 系列支持 S 型加減速曲線，在 300mm 晶圓傳輸中實(shí)現(xiàn) 0.1 秒啟停控制，減少慣性沖擊。
AX4000T 系列采用雙列角接觸球軸承，可承受軸向負(fù)載 500N，適用于精密壓合工藝。
智能監(jiān)控與預(yù)防性維護(hù)
多協(xié)議兼容驅(qū)動系統(tǒng)
TS/TH 型驅(qū)動器：支持 EtherCAT、Profinet、CC-Link IE TSN 等工業(yè)以太網(wǎng)協(xié)議，通信周期低至 100μs，支持多軸同步控制（如 4 軸聯(lián)動）。
MU 型驅(qū)動器：采用 DC24V 電源，體積僅 80×65×40mm，可直接安裝于執(zhí)行器附近，減少布線復(fù)雜度。
網(wǎng)絡(luò)運(yùn)行模式：通過上位控制器直接發(fā)送位置指令，減少 PLC 處理延遲，實(shí)現(xiàn)柔性路徑規(guī)劃。
智能調(diào)試工具鏈
晶圓檢測與量測
芯片封裝與鍵合
微型機(jī)械臂與精密搬運(yùn)
精密安裝規(guī)范
預(yù)防性維護(hù)方案
每運(yùn)行 200 小時檢查編碼器線纜接口，確保屏蔽接地電阻 < 1Ω。
通過 AX Tools 監(jiān)控電機(jī)繞組溫度，閾值設(shè)置為 80℃（報警）與 90℃（停機(jī)）。
每 6 個月清潔散熱孔，避免粉塵堆積影響散熱，真空環(huán)境下需額外檢查密封性能。
成本與交付優(yōu)勢
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137-3907-2496
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