日本CKD半導(dǎo)體電動執(zhí)行器GCKW
GCKW 系列采用三爪聯(lián)動卡盤設(shè)計，單側(cè)行程達(dá) 3mm（總行程 6mm），最大夾持力 29N，可穩(wěn)定抓取 φ16~φ100mm 的晶圓或圓柱形工件。其重復(fù)定位精度達(dá) &#177;0.02mm，通過內(nèi)置螺旋彈簧機構(gòu)實現(xiàn)自鎖，斷電時仍能保持夾持力，避免工件墜落風(fēng)險。

產(chǎn)品型號：GCKW-16

更新時間：2025-09-20

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

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日本CKD半導(dǎo)體電動執(zhí)行器GCKW

微型化三爪結(jié)構(gòu)與精準(zhǔn)夾持
GCKW 系列采用三爪聯(lián)動卡盤設(shè)計，單側(cè)行程達(dá) 3mm（總行程 6mm），最大夾持力 29N，可穩(wěn)定抓取 φ16~φ100mm 的晶圓或圓柱形工件。其重復(fù)定位精度達(dá) ±0.02mm，通過內(nèi)置螺旋彈簧機構(gòu)實現(xiàn)自鎖，斷電時仍能保持夾持力，避免工件墜落風(fēng)險。
潔凈室兼容與低發(fā)塵特性
本體采用無硅、無鹵素材料，表面經(jīng)特殊處理減少顆粒吸附，符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)對半導(dǎo)體設(shè)備的潔凈度要求，可適配 Class 100 級以下無塵環(huán)境。彈簧驅(qū)動方式無需潤滑油脂，進(jìn)一步降低污染風(fēng)險。
緊湊輕量化與高剛性
本體厚度僅 26.2~53mm，重量約 1.7kg，可直接集成于機器人末端或精密平臺。采用 T 形槽導(dǎo)軌和薄型結(jié)構(gòu)，慣性力矩較傳統(tǒng)氣動卡爪降低 40%，適配小型協(xié)作機器人（如 UR3e）的高速動作需求。

案例：某存儲芯片工廠使用 GCKW-20 型卡爪，配合六軸機器人完成 φ300mm 晶圓在 SMIF Pod 內(nèi)的垂直取放。三爪同步動作確保晶圓受力均勻，±0.02mm 重復(fù)精度避免與盒體碰撞，年故障率低于 0.1%。
優(yōu)勢：替代真空吸盤，解決翹曲晶圓的吸附難題；彈簧自鎖功能在斷電時仍可保持夾持，保障設(shè)備安全。

案例：某半導(dǎo)體封裝廠采用 GCKW-30 型卡爪，在引線鍵合機上夾持 200μm 厚的芯片。通過控制馬達(dá)電流實現(xiàn)柔性夾持（壓力 50~100N），避免芯片碎裂，良率提升至 99.8%。
優(yōu)勢：三爪自定心設(shè)計確保芯片定位精度，可與視覺檢測系統(tǒng)聯(lián)動實現(xiàn)動態(tài)校準(zhǔn)。

案例：在化學(xué)氣相沉積（CVD）設(shè)備中，GCKW-16 型卡爪用于微調(diào)晶圓承載臺的位置。單側(cè) 3mm 行程可補償設(shè)備熱膨脹導(dǎo)致的位移偏差，配合激光測距儀實現(xiàn) ±0.01mm 閉環(huán)控制。
優(yōu)勢：緊湊尺寸可嵌入設(shè)備狹小空間，彈簧驅(qū)動的低反作用力避免干擾工藝環(huán)境。

側(cè)深檢測模塊：通過加裝激光位移傳感器，可實現(xiàn)工件厚度實時測量，精度達(dá) ±0.05mm，適用于精密裝配。
安全光幕集成：與 CKD 的光幕傳感器聯(lián)動，當(dāng)人員靠近時自動停止動作，滿足 ISO 13849 PLd 安全等級要求。
多軸同步控制：通過 CKD 的 ECMG 系列控制器，可同時驅(qū)動 4 個 GCKW 卡爪，實現(xiàn)復(fù)雜工件的多點協(xié)同搬運（如大型電路板）。

整機提供1 年質(zhì)保（自交付日起），核心部件（控制器、馬達(dá)）延保至 2 年（需額外付費）。
國內(nèi)設(shè)有 20 + 服務(wù)網(wǎng)點，常用配件（如夾爪指、傳動齒輪）可實現(xiàn)24 小時內(nèi)送達(dá)，緊急故障響應(yīng)時間≤4 小時。

購買 GCKW 系列可免費獲得3 天實操培訓(xùn)（含編程、調(diào)試、故障排查），培訓(xùn)地點可選 CKD 技術(shù)中心或客戶現(xiàn)場。
提供多語言技術(shù)手冊、3D 模型庫及 CAD 圖紙，支持 SolidWorks、AutoCAD 等主流設(shè)計軟件。

對比維度	CKD GCKW 系列	歐姆龍 HGP 系列	雅馬哈 YAC 系列
最大夾持力	29N（單側(cè)）	300N（單側(cè)）	200N（單側(cè)）
行程范圍	6mm（總行程）	50-150mm	40-100mm
重復(fù)精度	±0.02mm	±0.05mm	±0.03mm
通信協(xié)議	IO-Link 無線	EtherCAT	Modbus RTU
本體重量	1.7kg	0.8-1.5kg	1.2-2.0kg
未稅單價	6,000-12,000 元	6,000-12,000 元	7,500-15,000 元