HVB 12 Series 作為 CKD 高真空電磁閥的主力系列,聚焦精密真空系統控制,核心參數如下:
方向與空間:優先垂直安裝(閥芯軸線豎直),線圈朝上避免冷凝水積聚;閥體周圍預留≥5cm 散熱空間,遠離高溫部件(如加熱爐);
密封緊固:VCR 接頭按規定扭矩(如 Φ6 接頭推薦 20N?m)緊固,雙卡套接頭確保管材切口平整,安裝后需用氦質譜儀檢漏(泄漏率需≤1×10??Pa?m3/s);
電氣接線:嚴格匹配額定電壓,接線端子做好絕緣密封(潮濕環境需加裝 IP65 級接線盒)。
定期檢漏:每 3~6 個月用氦質譜儀檢測閥座及接頭,若泄漏率超標,及時更換原廠密封件(PCTFE/FFKM 材質);
閥芯清潔:每年拆解檢查閥芯與閥座,清除附著的污染物(用無塵布蘸 IPA 擦拭),組裝后重新檢漏;
長期停放:停用超 1 個月時,向閥內充干燥氮氣(0.1MPa)至常壓,封堵接口,存放于潔凈干燥環境(濕度≤60%)。
需求:離子鍍膜機的 Ar 氣 / 反應氣體控制,要求泄漏率≤5×10??Pa?m3/s,避免雜質氣體影響膜層純度;
方案:選用 HVB412(Φ4.5 孔徑),搭配 VCR 接頭,滿足小流量(50sccm)精準控制;
效果:設備極限真空度穩定在 5×10??Pa,膜層均勻性提升 12%,故障率從月均 2 次降至 0.3 次。
需求:極片干燥腔體的氮氣置換控制,需避免金屬污染(防止電池自放電),適配 0~0.1MPa 差壓;
方案:采用 HVB512(Φ6 孔徑),SUS316L 閥體 + FFKM 密封,兼容干燥高溫(60℃);
效果:極片雜質含量≤5ppm,電池循環壽命提升 8%,年維護成本降低 40%。
HVB 12 Series 憑借超高真空保持性、潔凈材質及全規格覆蓋,核心應用于以下領域:
半導體制造:離子注入機、薄膜沉積(CVD/PVD)設備的工藝氣體控制,晶圓清洗腔體的真空切換;
二次電池生產:極片真空干燥機、電解液注入設備的氮氣 / 真空切換,避免金屬污染影響電池性能;
真空鍍膜:光學鏡片、裝飾鍍膜機的進氣控制,精準調節鍍膜氣體流量,保證膜層均勻性;
科研儀器:質譜儀、電子顯微鏡的真空管路控制,同步輻射裝置的氣體通路切換;
精密材料制備:納米材料真空燒結爐、稀土金屬提純設備的惰性氣體控制,維持超高真空環境。
HVB 12 Series 通過 “超低泄漏 + 潔凈材質 + 全場景適配",成為高真空精密控制領域的產品,為制造與科研提供穩定可靠的流體控制解決方案。