日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑臺(tái)型FLCR
日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑臺(tái)型FLCR
FLCR 系列采用
模塊化編碼體系，通過(guò)后綴區(qū)分規(guī)格、功能及適配場(chǎng)景，典型型號(hào)結(jié)構(gòu)如下：
FLCR - [尺寸] - [行程] - [控制方式] - [附加功能]尺寸規(guī)格：以數(shù)字表示滑臺(tái)基座寬度（mm），常見(jiàn)有 16、20、25 三種，對(duì)應(yīng)不同負(fù)載能力和安裝空間需求：
行程范圍：以兩位數(shù)字表示單側(cè)行程（mm），總行程為 “2× 單側(cè)行程"，常見(jiàn)選項(xiàng)：
02：?jiǎn)蝹?cè) 1mm，總行程 2mm；
10：?jiǎn)蝹?cè) 5mm，總行程 10mm；
50：?jiǎn)蝹?cè) 25mm，總行程 50mm（最大行程可達(dá) 100mm）。
控制方式：區(qū)分配套的控制器類型，決定信號(hào)交互與調(diào)控能力：
附加功能：通過(guò)字母組合標(biāo)注特殊配置：
N：無(wú)制動(dòng)功能（默認(rèn)帶斷電保持制動(dòng)）；
C：內(nèi)置增量式編碼器（支持位置反饋，重復(fù)定位精度 ±0.02mm）；
RS10：電纜右出，長(zhǎng)度 10m（適配復(fù)雜布線環(huán)境）。
示例型號(hào)解析：
電動(dòng)驅(qū)動(dòng)精準(zhǔn)可控：
采用滾珠絲杠 + 皮帶傳動(dòng)，支持 16 級(jí)速度調(diào)節(jié)（5~300mm/s）和 10 級(jí)位置細(xì)分，可滿足半導(dǎo)體晶圓微米級(jí)定位需求（如檢測(cè)設(shè)備中傳感器的精密移動(dòng)）。
搭配 ECR 控制器時(shí)，支持實(shí)時(shí)扭矩監(jiān)控，可通過(guò) IO-Link 遠(yuǎn)程調(diào)整參數(shù)，避免過(guò)載損傷工件。
與氣動(dòng)滑臺(tái)兼容：
高剛性與緊湊設(shè)計(jì)：
環(huán)境適應(yīng)性優(yōu)化：
晶圓檢測(cè)與量測(cè)：
場(chǎng)景：在半導(dǎo)體晶圓外觀檢測(cè)設(shè)備中，F(xiàn)LCR 滑臺(tái)帶動(dòng)光學(xué)鏡頭沿 X-Y 軸掃描，定位精度需達(dá)到 ±0.02mm，以識(shí)別微米級(jí)缺陷。
配置：選用 FLCR-16GH102C-RS03（16mm 基座，單側(cè)行程 1mm，帶編碼器，電纜 3m 右出），通過(guò) ECR 控制器與視覺(jué)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)路徑規(guī)劃。
芯片封裝與貼裝：
晶圓搬運(yùn)與傳輸：
按負(fù)載選尺寸：
按精度選反饋：
按系統(tǒng)選控制：
按環(huán)境選防護(hù)：
FLCR 系列通過(guò)電動(dòng)化的精準(zhǔn)控制與氣動(dòng)兼容性，成為半導(dǎo)體制造從 “傳統(tǒng)產(chǎn)線" 向 “智能工廠" 升級(jí)的關(guān)鍵設(shè)備，尤其在晶圓加工、封裝測(cè)試等環(huán)節(jié)發(fā)揮核心作用。
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137-3907-2496
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